用于對(duì)中大流量氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密的測(cè)量和控制，具有精度高，穩(wěn)定性好，數(shù)字電路，可靠性高，安裝簡(jiǎn)單，操作方便。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等