精密質(zhì)量流量控制計(MFC),該產(chǎn)品是經(jīng)過實踐驗證的適合多種應(yīng)用場合的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品,流量精準(zhǔn)度及性價比高,的傳感器和閥控技術(shù),經(jīng)過實地應(yīng)用驗證的平臺組件以及高速的
模擬/數(shù)字線路帶來準(zhǔn)的氣體流量控制,可以滿足客戶在數(shù)值和功能上對于MFC的不同要求。適用于半導(dǎo)體,平板顯示,數(shù)據(jù)存儲,真空工業(yè),ICP光譜設(shè)備及太陽能晶硅制程等不同行業(yè)。
流量計量程 300-5000sccm可選