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1、該設備采用IPG激光器,功率穩定、壽命長、免維護
2、孔深比大,微孔圓度好
3、光路固定,平臺移動,孔型一致性好,垂直度好
4、同步運動打孔,速度快
5、自動布孔,孔距可設定,準確打孔
6、引導入DXF、PLT等圖形,根據圖形要求打孔
7、采用雙閉環位置控制,精度高
8、真空吸附,操作方便
9、吸塵處理,設備可放于超凈間
相關應用:
應用于硅晶片,半導體晶圓,非晶薄膜等材料
技術規格參數:
序號 | 項目 | 技術參數 |
光學單元 | ||
1 | 激光器類型 | 355、532、1064nm可選 10ps |
2 | 冷卻方式 | 恒溫水冷 |
3 | 激光功率 | 10~100W |
4 | 光束質量 | M2<1.3 |
5 | 聚焦方式&加工頭數 | 單點&平場聚焦鏡、雙頭 |
6 | 最小聚焦光斑直徑 | Ф3--15μm |
激光加工性能 | ||
7 | 加工速度 | 100~3000mm/s可調 |
8 | 最小崩邊 | 3μm |
9 | 加工材料厚度 | 2mm |
10 | 加工尺寸&精度 | 12inches, ±5μm |
機械單元 | ||
11 | 機床結構 | 龍門式 |
12 | 機床運動軸數&種類 | 最多8軸, X,Y, Z, &θ軸 |
13 | 平臺行程&速度 | 650mm×450mm,800mm/s |
14 | 運動平臺重復精度 | ≤±1μm |
15 | 運動平臺定位精度 | ≤±3μm |
軟件控制單元 | ||
16 | 激光加工&平臺控制 | Strongsoft, Strongsmart |
17 | 加工文件導入格式 | Dxf, Plt, DWG, Gebar |
18 | CCD視覺定位軟件 | AISYS Vision |
19 | CCD視覺定位精度 | ≤±3μm |
電氣單元 | ||
20 | PLC控制器 | Panasonic |
21 | 真空系統 | 真空泵 |
22 | 除塵&集塵系統 | 專業粉塵過濾集成凈化機 |
自動化單元 | ||
23 | 自動上下料系統 | XZ軸+可移動上下料平臺 |
高級可選單元 | ||
24 | AOI視覺檢測 | 8--12寸大片/3min |
25 | 自動裂片功能 | 8--12寸大片/3min |
26 | 自動清洗分選 | 8--12寸大片/3min |
安裝環境 | ||
27 | 整機供電&穩壓器功率 | 220V380V,8KW |
28 | 壓縮空氣壓強 | ≥0.6MPa |
29 | 無塵室等級 | 10000 |
30 | 地面承重 | 2T/m2 |
31 | 保護氮氣 | 高純氮 |
切割、鉆孔樣品:
的研發團隊
85%的公司員工擁有大專及以上學歷,技術研發人員占總人數的一半以上,其中研發骨干人員代表著行業內水平。
豐富的行業經驗
公司自2013年成立以來,風雨兼程一路走來,憑借著的專業技術和強大的研發優勢,成功的為近300家不同行業企業提供了激光設備及其應用服務,積累了的豐富的行業經驗。
一體化的解決方案
公司始終秉承以市場為導向,解決客戶實際需求為己任。
開發完成 觸摸屏行業 TP銀漿線+ITO自動定位蝕刻系統方案,FPC+PCB高精密
自動送料切割系統。
專注 專業 合作 共贏是我們多年來前行的動力!
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