本設備是一款流量計，結合了供氣側（入口側）的壓力發生變化時可使恒定流量通過的恒定流量閥MODEL 2204，以及高精度流量計RK1400，從微小流量到中等流量都能進行高精度測量控制。
- 即使在流量計出口側壓力恒定的條件下，入口側的壓力發生變化，也能始終確保恒定的流量。
- 流量控制器是基于精密控制特性良好的2204制造的，即使在微小流量下也能順利控制。
- 流量測量單元是基于高精度流量計RK1400制造的，可獲得可靠性高的流量。
尺寸圖
標準規格
| 流體名稱 | Air，N2，O2，H2，He，Ar，CO2（實際氣體校正） 其他氣體換算校正，實際氣體校正請另行咨詢 ※選項：2種流體刻度 |
|---|---|
| 流量范圍（FS） | 1～10ML/MIN到1～10L/MIN 參考RK1400的容量列表 ※但是，以流量10L/MIN為限 |
| 精度 | 在FS±2％（測量點）一次壓力（入口圧力）0.07Mpa～0.7MPa間0.3MPa的變化下，流量變化值在±2％以內 |
| 工作壓差 | 入口-出口壓差 需0.07MPa以上 |
| 耐壓 | 05L/MIN以下：0.7MPa 10L/MIN以上：0.5MPa |
| 有效刻度 | 10：1 |
| 材質 | SS制 | |
|---|---|---|
| 主體區塊 | SUS316 | |
| 錐形管 | 硬玻璃 | |
| 密封材料 | 氟橡膠 | |
| 浮標 | 硬質玻璃、SUS316 | |
| 保護罩 | 丙烯 | |
| 使用溫度 | 60℃ | |
| 連接 | Rc1/4（標準） | |
