用于測量清潔氣體，小型緊湊設計。
用于各種腐蝕性流體的流量監視。
- 支持氣體
- 支持附帶警報接點
- 小型緊湊設計
標準規格
| 流體名稱 | Air，N2，O2，H2，He，Ar，CO2（實際氣體校準） 其他氣體在轉換后進行校準，實際氣體校準請另行咨詢 |
|---|---|
| 流量范圍 | 1,2,3,5,10,20L/MIN |
| 精度 | FS±5％ |
| 供應壓力 | 0.2MPa以下 |
| 耐壓 | 0.5MPa |
| 流體接觸材料 | （P）氟樹脂、硬質玻璃、氟橡膠 |
| 有效刻度 | 10：1 |
| 連接 | Rc1/4 |
| 使用環境溫度 | 0~40℃（不會結露） |
光傳感器規格
| 連接方法 E（光傳感器） | NPN開放收集器 | |
|---|---|---|
| 警報設定范圍 | 20~90％FS共通 | |
| 接點容量 | E-投光15mA、受光22mA、NPN開放電流80mA（MAX）、燈ON | |
※流量顯示為Air轉換（大氣壓）20℃
尺寸圖
