它是一種數字質量流量設備，通過標準通信功能（RS 485）實現高精度和高速響應，同時結構緊湊，采用高速繞線傳感器和內部開發的具有出色穩定性的小型比例電磁閥。
- 小型質量流量裝置（W76 x D30 x H76）
- 高速應答及出色的零點穩定性
□0-5V或4-20mA輸入/輸出信號，電源
可從±15 V或24 V單電源選擇 - 電源連接器采用通用性較高的D-sub9針連接器
- 通過切換旋轉開關，可以使用主機中登記的氣體類型。
※流量是與N2氣體的比率計算出的值 - 標準配備通訊功能（RS485）
- 符合RoHS?CE標準
EX-250S標準規格
| 形式 | 質量流量控制器 EX-250SC | 質量流量計 EX-250SM | |
|---|---|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
| 閥門方式 | 比例螺線管閥門（未通電時關閉） | – | |
| 目標氣體（* 1） | N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等 （未列出的氣體換算成N2） | ||
| 流量范圍（* 2） | 10 SCCM~5 SLM | ||
| 控制范圍（測量范圍） | 2~100％（F.S.） | ||
| 響應速度 | 總流量控制范圍在1sec內（within±2%F.S.） | ||
| L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa | – | ||
| 精度（* 3） | ±1.0%F.S. | ||
| 再現性 | ±0.2%F.S. | ||
| 工作壓差（* 4） | 50~300 kPa（Ar，CO2：100 kPa~300 kPa） | – | |
| 入口壓力 | 500kPa（G） | ||
| 耐壓 | 980kPa（G） | ||
| He泄漏率（* 5） | 1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下 | ||
| 溫度 | 允許周圍溫度 | 5～50℃ | |
| 精度保證溫度 | 15～35℃ | ||
| 允許儲存溫度 | -10～60℃ | ||
| 允許環境濕度 | 10～90%RH （無結露） | ||
| 氣體接觸材料 | SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼（* 6），PTFE，FKM | ||
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC標準（符合SEMI標準） HR-10A | ||
| 流量設定輸入信號 | 0~5 VDC（輸入電阻約1MΩ） Or 4~20mA（輸入電阻約250Ω） | – | |
| 流量輸出信號 | 0~5 VDC（負載電阻10kΩ以上） or 4~20mA（負載電阻500Ω以下） | ||
| 數字通信 | 通過RS485旋轉開關設置地址 | ||
| 所需電源（DC） | +15 VDC（±5％）100 mA以下，-15 VDC（±5％）150 mA以下 or+ 24VDC（±10％）180mA以下（MFM都為100mA以下） | ||
| 接頭（* 7） | 1/4F900（標準） | ||
| 安裝姿勢 | 推薦水平方向 | ||
| 重量（* 8） | 約500g | 約440g | |
（* 1）干燥氣體，不含腐蝕性成分和灰塵，霧氣等的干凈氣體。
（* 2）流量單位SCCM、SLM是將質量流量換算成0℃、1atm狀態下的體積流量cc/min、L/min值。
（* 3）流量范圍（滿量程）的精度。
（* 4）工作壓差可能因規格而異。
（* 5）不含滲透。長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa?m3 / sec以下。
（* 6）質量流量計不使用磁性不銹鋼。
（* 7）如需其他接頭，請另行詢問。
（* 8）重量不含接頭。
尺寸圖
接線連接
SW1氣體類型分配表
