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國產小流量氣體流量計

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青島芯笙微納電子科技有限公司,位于青島市嶗山區國際創新園,孵化自山東大學。公司以高端氣體質量流量計/控制器(MFC)、薄膜真空計(Vacuum?Gauges)、壓力控制器(EPC)等半導體核心零部件的研發、生產和銷售為主營業務,通過自主創新、產學研合作及成果轉化、行業整合等手段,實現快速發展,助力國家半導體產業的發展。
?????????公司現有發明專利21項,實用新型專利12項,國家一級計量證書、CE認證、TUV?EMC認證、防爆認證等各類證書30余份,從核心芯片到模組、算法構建了全鏈條技術能力。核心研發成員來自新加坡微電子研究院、德國卡爾斯魯厄理工學院、山東大學、中科院、復旦大學等科研機構以及國內知名儀器儀表企業,全力打造國內一流研發團隊。
????????公司獲評國家高新技術企業、青島市“專精特新”企業,承建有青島市先進傳感器重點實驗室、青島市先進氣體流量測控技術工程中心、青島市專家工作站等研發機構,并承擔多項科技部重點研發計劃、山東省重大創新工程、青島市重點項目等國家及省部級技術攻關課題。
????????公司現有千級和萬級潔凈廠房3000余平米,在青島、深圳濰坊等地設有制造基地和研發中心,全面保障產品的高質量、快速出貨能力,并提供專業的售前售后服務。



質量流量控制器,質量流量計
小流量氣體流量計(Mass Flow Controller)是基于業內優良的微機電(MEMS)流量傳感器芯片技術,結合高速采樣處理技術和數字補償算法,所開發的一款智能化、高精度可進行準確的質量流量控制的氣體質量流量控制器產品。
國產小流量氣體流量計 產品信息

小流量氣體流量計(Mass Flow Controller)是基于業內優良的微機電(MEMS)流量傳感器芯片技術,結合高速采樣處理技術和數字補償算法,所開發的一款智能化、高精度可進行準確的質量流量控制的氣體質量流量控制器產品。

 

小流量氣體流量計介紹:

溫度和壓力不敏感

超快的響應速度

多種信號輸出方式

 公司專注于 MEMS 流量傳感器芯片、流量計、質量流量控制器、數字風速計等氣體流量檢測芯片和模組的研發和銷售,晶圓制造交由國外晶圓廠代工,封裝交由母公司制造平臺負責,該平臺具有9000平米千級無塵封測車間,具有ISO9001, ISO14001, IATF16949等品質管理和制造認證。相關流量計及控制器產品被廣泛應用于氣體檢漏、氣體分析儀、實驗室、熱氧化爐、擴散爐等領域

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