等離子廢氣凈化器采用了吸附-分解-碳化離心式抽風安裝工藝技術設計，采用標準模塊設計等優點，是一種干法處理廢氣的凈化設備。它改變了使用活性碳材料的工藝技術，無需處理原料，無需專人負責，不產生二次污染，換及維護保養方便。

低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會產生等離子，而這種放電現像就是通過某種機制使一個或者多個電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質，這種媒質就稱為電離氣體，如果外電場產生了電離氣體，傳導電流就形成了，這種現象就被稱為氣體放電。而這種凈化設備的技術，就是工業廢氣處理的一種原理。

等離子廢氣凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：

(1)電場+電子→電子

(2)電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團

(3)活性基團+分子(原子)→生成物+熱

(4)活性基團+活性基團→生成物+熱

從以上過程可以看出，電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。

等離子光氧凈化器性能特點：

1、工業廢氣處理設備阻力低：在足夠氣液接觸面積基礎上，工業廢氣凈化塔選用空氣動力特性比較佳的填料品種及結構形式，使設備阻力在額定風量不超過40毫米水柱，是國內各種填料吸收塔中阻力比較低的一種。這對于配用低壓通風機極為有利。

2、廢氣處理設備占地面積小：工業廢氣凈化處理塔采用PP、FRP等材質，將塔體，吸收液槽、循環泵、吸收液管道系統組合成一套完整的工業處理設備，結構緊湊，便于現場安裝及操作管理，占地面積小，無論對新建工程還是技改項目都可適應。

3、廢氣處理設備適用范圍廣：化工、輕工、印染、醫藥、鋼鐵、機械、電子、儀表、電鍍等工業部門生產過程中排放的廢氣、硝酸、氫氟酸等尾氣等硫氧化物、氮氧化物、碳氧化物、等酸性氣體，采用工業廢氣凈化設備，都可滿意的效果。