臺階儀接觸式表面形貌測量儀

參考價	￥ 600000
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產品標簽:

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深圳市中圖儀器股份有限公司致力于精密測量、計量檢測等儀器設備的研發、生產和銷售。

中圖儀器堅持以技術創新為發展基礎，在微納米運動設計制造、微納米顯微測量三維重建、顯微測量3D形貌分析、大尺寸三維空間測量、精密傳感測頭、光柵導軌測控等眾多技術領域形成了設計、制造優勢，具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力。

目前，中圖儀器的產品已廣泛應用于計量質量檢測機構、汽車、航空航天、機械制造、半導體加工、3C電子等行業，參與制定了多項國家標準，為中國儀器在精密測量、計量檢測領域的技術進步做出了應有的貢獻。

未來，中圖儀器還將專注于精密測量檢測技術的發展，自強不息、知難而上、勇于創新，為制造技術的快速發展貢獻我們的力量，圖中國儀器技術之強大，鑄中國產業提升之利器。

一鍵式測量儀，影像測量儀，輪廓測量儀，激光干涉儀，激光跟蹤儀，機床側頭，圖像尺寸測量儀，白光干涉儀

中圖儀器CP200臺階儀接觸式表面形貌測量儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力。它可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。

臺階儀接觸式表面形貌測量儀產品信息

當觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。

1.參數測量功能

1）臺階高度：能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度，可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料；

2）粗糙度與波紋度：能夠測量樣品的粗糙度和波紋度，分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線，可獲取粗糙度與波紋度相關的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項參數；

3）翹曲與形狀：能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲，如在半導體晶圓制造過程中，因多層沉積層結構中層間不匹配所產生的翹曲或形狀變化，或者類似透鏡在內的結構高度和曲率半徑。

2.數采與分析系統

1）自定義測量模式：支持用戶以自定義輸入坐標位置或相對位移量的方式來設定掃描路徑的測量模式；

2）導航圖智能測量模式：支持用戶結合導航圖、標定數據、即時圖像以智能化生成移動命令方式來實現掃描的測量模式。

3）SPC統計分析：支持對不同種類被測件進行多種指標參數的分析，針對批量樣品的測量數據提供SPC圖表以統計數據的變化趨勢。

3.光學導航功能

配備了500W像素的彩色相機，可實時將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸到軟件中顯示，進行即時的高精度定位測量。

4.樣品空間姿態調節功能

配備了精密XY位移臺、360°電動旋轉平臺和電動升降Z軸，可對樣品的XYZ、角度等空間姿態進行調節，提高測量精度及效率。

CP200臺階儀接觸式表面形貌測量儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求，樣品適應面廣，數據復現性高、測量穩定、便捷、高效，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。