直驅電機結構具有更高的真空特性,內部結構沒有齒輪,皮帶等部件,系統運行的平穩性更好,可靠性更高。全新的IO模塊,具有更多的輸出輸入引腳,用戶可以根據需求配置成互鎖,傳感器檢測等功能。輸入信號支硬件中斷功能,方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應用。帶有安全區配置功能和靈敏的碰撞保護功能,減少用戶誤操作導致的各種損失。帶有大屏幕機器人示教器,方便調試人員使用,并支持熱插拔功能。可以根據客戶應用的特殊要求,定制手臂尺寸,Z軸行程,耐高溫耐腐蝕特性等。
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本體重量Body Weight | 50KG |
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適用晶圓尺寸Wafer Size | 300mm/200mm/150mm/125mm/100mm |
負載Payload | 1KG |
電源輸入Power Supply | AC電壓:100-240V AC頻率:50HZ/60HZ |
節拍Bear | 4s-8.1s(Pick,Rotate180°,Place,根據手指材料,傳輸位置不同相關) |
動態偏差糾正精度(AWC) | ±0.1mm |
重復定位精度Repeatability | Z: ±0.05mm(3σ) |
T: ±0.003°(3σ) | |
R: ±0.05mm(3σ) | |
漏率Leak rate | < 1 x 10E-9 std. cc/sec He |
真空度Base Pressure | 5X10-9Torr |
適用溫度 Applicable temperature | 法蘭:<120℃;本體:<50℃;手臂:<120℃ |
潔凈度Clean Class | ISO CLASS1 |
MCBF | >1100million cycles |
復合運動 Compound motion | 支持Support |
PC遠程操作軟件 | 支持Support |
通信接口Communications | Ethernet/串口serial interface |
IO互鎖IO interlock | 支持Support |
安全區Safe area | 支持Support |
碰撞保護Collision protection | 支持Support |