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大氣機械手SRBJ1A-AS3491

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新松機器人自動化股份有限公司(以下簡稱“新松”)成立于2000年,隸屬,是一家以機器人技術為核心的高科技上市公司。作為中國機器人企業及國家機器人產業化基地,新松擁有完整的機器人產品線及工業4.0整體解決方案。以創新、開放和共贏的思維行業進步,以的產品和服務為客戶持續創造價值。新松本部位于沈陽,在上海設有國際總部,在沈陽、上海、杭州、青島、天津、無錫建有產業園區。同時,新松積極布局國際市場,在韓國、新加坡、泰國、香港等地設立多家控股子公司,現擁有4000余人的研發創新團隊,形成以自主核心技術、核心零部件、核心產品及行業系統解決方案為一體的全產業價值鏈。作為中國機器人產業頭雁,新松已創造了百余項一。成功研制了具有自主知識產權的工業機器人、協作機器人、移動機器人、特種機器人、服務機器人五大系列百余種產品,面向智能工廠、智能裝備、智能物流、半導體裝備、智能交通,形成產業方向,致力于打造數字化物聯新模式。產品累計出口30多個國家和地區,為3000余家國際企業提供產業升級服務。新松緊抓新一輪科技革命和產業變革契機,發揮人工智能技術的賦能效應,以工業互聯網、大數據、云計算、5G網絡等新一代科技推動機器人產業平臺化發展,打造集創新鏈、產業鏈、金融鏈、人才鏈于一體的生態體系。聚焦核心技術,共享智能時代。智慧新松,未來!
工業機器人
高潔凈等級,高精度,高速傳片,耐腐蝕,碰撞保護,Mapping功能,SEMI認證,提供接口及末端定制。
大氣機械手SRBJ1A-AS3491 產品信息

大氣機械手廣泛用于硅晶圓以及LED藍寶石基片搬運。手臂采用*的結構加強了手臂的剛性,并有效抑制振動,輕量化設計滿足高速要求。本體的制造工藝改進有效降低成本,提升市場競爭力。材料、加工以及表面處理多方面優選,以實現高潔凈度。具有多重安全保護功能。肘部和腕部靈活控制,使得機器人可以采用任意姿勢來取放晶元,允許更多的片盒直線排布,更節省空間,適應性更強。是半導體行業的優勢之選。


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結構形式Mechanical Structure柱坐標型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
負載Payload名稱name晶圓wafer
直徑diameterΦ200mm/Φ300mm
重量weight≤0.5kg
自由度數DOF3
回轉直徑Maximum Swing diameter520mm

運動范圍

Moving Range
升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis330mm
回轉軸 (T軸) Rotational(T)-Axis330°
伸展軸 (R軸) Extension(Z)-AxisR736mm

速度

Maximum Moving Speed
升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis330mm/s
回轉軸 (T軸) Rotational(T)-Axis360°
伸展軸 (R軸) Extension(Z)-Axis900mm/s

重復定位精度

Repeatability
升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis±0.1 mm(3σ)
回轉軸 (T軸) Rotational(T)-Axis±0.01°(3σ)
伸展軸 (R軸) Extension(Z)-Axis±0.1 mm(3σ)



關鍵詞:機械手
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