源要求
85V ac 到 264V ac, 47 Hz 到 440 Hz, 功耗 18 VA
標(biāo)稱工作溫度量程
15℃ 到 30℃(59℉ 到 86℉)
儲存溫度量程
-20℃ 到 70℃(-4℉ 到 158℉)
震動符合 MIL-T-28800D 標(biāo)準(zhǔn)
通訊端口
RS-232 (COM1), RS-232 (COM2), IEEE-488.2
壓力連接(molbox1+ 與 molbloc)
快速連接口,等同于 Swagelok® QM 串口 (SS-QM2-B200)
流量量程 <1 sccm 到 >5000 slm
請參見 molbloc-L 與 molbloc-S 的不同量程表
流量測量速率 1 秒
支持氣體
氮?dú)?/span> (N2)、空氣、氬氣 (Ar)、一氧化碳 (CO)、氦氣 (He)、氧氣 (O2)、二氧化碳 (CO2)、四氟化 (CF4)、乙烷 (C2H6)、乙烯 (C2H4)、三氟甲 (CHF3)、六氟代乙烷 (C2F6)、氫氣 (H2)、甲烷 (CH4)、一氧化二氮 (N2O)、丙烷 (C3H8)、六氟化硫 (SF6)、丁烷 (C4H10)、氟環(huán)丁烷 (C4F8)、氙氣 (Xe)
準(zhǔn)確度:
±0.1% FS(設(shè)定)、±0.05% FS(測量)