國(guó)產(chǎn)氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller)是基于業(yè)內(nèi)的流量傳感器芯片,結(jié)合高速采樣處理技術(shù)和數(shù)字補(bǔ)償算法,所開發(fā)的一款智能化、高精度的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。該產(chǎn)品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機(jī)電流量芯片等,具有精度高、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好等特點(diǎn)。在輸出方面,帶有工業(yè)級(jí)液晶觸控顯示屏,具備流量設(shè)置、瞬時(shí)流量和累積流量顯示等功能。輸出信號(hào)可選擇:4-20mA和1-5V模擬信號(hào),以及RS485等數(shù)字通信方式。
國(guó)產(chǎn)氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品應(yīng)用于:半導(dǎo)體加工、分析和環(huán)保、燃燒控制器、真空技術(shù)、表面處理、食品和制藥、化工(石化)等過(guò)程控制