低溫等離子UV光解一體機分為UV紫外線光解區和低溫等離子分解區，下面對這2個區分別介紹：

UV紫外線光解區：利用 的 高臭氧UV紫外線光束照射惡臭氣體，改變惡臭氣體，如氨、胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、四硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯、硫化物H2S、VOC類、苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在 紫外線下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。再分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧。因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。，臭氧對物具有的氧化作用，對惡臭氣體及其它感激性異味有的 效果。惡嗅氣體通過本區后，凈化運用 UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，裂解惡臭氣體中的分子鍵，破壞的核酸（DNA），再通過臭氧氧化反應。

低溫等離子分解區：采用了 的吸附-分解-碳化工藝技術設計，無需 處理原料，無需專人負責，不產生二次污染。采用脈沖高壓高頻等離子體電源和齒板放電裝置，使其產生、、高電能的活性自由基，在毫秒級的時間內，瞬間對經過UV光解區進入等離子分解區的氣體內殘留的分子進行氧化還原反應，將廢氣中的污染物降解成二氧化碳和水及易處理的物質。利用催化氧化劑的強氧化性和高吸附性，持續地對等離子體未處理盡的污染物和生成的物質進行催化氧化反應，使廢氣經多級凈化后終達標排放。

因此，我們將低溫等離子除臭＋UV光解這兩種處理方案結合起來。將等離子裝置布置在光解設備的前段，離子裝置產生的O3與廢氣混合后，流經紫外線燈管。紫外線燈管能進一步地觸發O3的生成，同時在燈管254nm紫外線的催化作用下，O3與物的反應效能大幅提升，從而取得理想的處理效果。由于等離子裝置較紫外燈管高得多的臭氧產生效能，使得設備的功耗隨之降低，節能。