制藥、印染、制造、化工、化纖等行業在運作過程中會產生大量揮發性污染物(VOCs)傳統的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒法等（詳見：廢氣處理組合工藝），對于低濃度的VOCs很難實現，而光催化降解VOCs又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優勢。

低溫等離子廢氣處理設備已經還廣泛的應用于環境保護、包裝、紡織、塑料制品、汽車制造、電子設備制造、家電制造、計算機制造、手機制造、生物材料、衛生材料、器皿、、環保設備、石油 氣管道、供暖管道、化工子、半導體、航空航天等行業中。

低溫等離子廢氣處理設備工藝概述

低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的 放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些 電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。

DBD等離子體反應區富含 的物質，如 電子、離子、自由基和激發態分子等，廢氣中的污染物質可與這些具有較 量的物質發生反應，使污染物質在的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到講解污染物的目的。與傳統的電暈放電形勢產生的低溫等離子技術相比較，DBD等離子體技術放電量是電暈放電的50倍，放電密度是電暈放電的130倍。所以，傳統低溫等離子體技術只能用于室內空氣異味治理，與其他低溫等離子體技術相比較，DBD等離子體技術是用于工業化工藝廢氣治理的技術。

等離子體去除污染物的基本過程

過程一： 電子的直接轟擊

過程二：O原子或臭氧的氧化

O2+e→2O

過程三：OH自由基的氧化

H2O+e→OH+H

H2O+O→2OH

H+O2→OH+O

過程四：分子碎片+氧氣的反應

低溫等離子廢氣處理設備技術特點：

1、技術 ，工藝簡潔：開機后，即自行運轉，受工況限制非常少，無需專人操作，除臭率可達。

2、節能： 無機械設備，空氣阻力小，耗電量約為0.003kw/m3廢氣。

3、適應工況范圍寬： 設備啟動、停止，隨用隨開，不受氣溫的影響。在250℃以下和在霧態工況環境中均可正常運轉。-50℃至 +50℃的環境溫度仍可正常運轉。

4、設備使用壽命長：本設備由不銹鋼材，銅材、鉬材、環氧 樹脂等材料組成， ，采用 材料，電極與廢氣不直接接觸，根本上解決了設備腐蝕問題。

5、結構簡單：只需用電，操作極為簡單，無需派專職人員看守，基本不占用人工費。

6、無機械設備：故障率低，維修容易。

7、應用范圍廣：介質阻擋放電產生的低溫等離子體中，電子能 量高，幾乎可以將所有的異味氣體分子降解。