? 自動(dòng)化且精度較高的測(cè)量顯微鏡 ( Min顯示分辨力 0.01um ) 。
? 主機(jī)的前臺(tái)操作設(shè)計(jì)是基于 UD ( 通用化設(shè)計(jì) )的理念。
? 配備三軸電動(dòng)前置控制手柄,這使傳統(tǒng)的顯微鏡操作有了全新的變化,即使在快速運(yùn)動(dòng)的過程中也能進(jìn)行精細(xì)定位。
? 用戶可選擇傳統(tǒng)的顯微鏡光學(xué)管路或帶內(nèi)置激光自動(dòng)對(duì)焦功能的光學(xué)管路,其觀察方法多種多樣,提高了測(cè)量工作的效率。
? 行程為 250 × 150mm 的大工作臺(tái)可為大工件的測(cè)量提供足夠的空間。
? 使用高精度低熱膨的玻璃光柵尺和高分辨力的讀數(shù)頭。
? 的數(shù)據(jù)處理裝置 QM-Data200 和 Vision Unit可結(jié)合使用,提供有效且穩(wěn)定的測(cè)量環(huán)境。
? 晶片夾持器 ( 可用于小于 8" 的晶片 ) 和高硬度中心支架滿足高精度測(cè)量的需求。
? 電動(dòng)轉(zhuǎn)塔型擁有回縮功能,該功能在更換物鏡時(shí)啟動(dòng)工作。