產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
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Mahr用MARSURF UD 130 綜合性輪廓和表面測(cè)量站替換了成功的MarSurf UD 120,并封閉了解決方案MarSurf LD 130/LD 260與具有兩個(gè)驅(qū)動(dòng)單元的標(biāo)準(zhǔn)組合測(cè)量站MarSurf XCR 20之間的間隙。
MarSurf UD 130的技術(shù)規(guī)范遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于MarSurf UD 120:特別是測(cè)量和定位速度減少了每個(gè)工件的測(cè)量時(shí)間。
測(cè)量速度(文本) | 0.1 mm/s to 5 mm/s; |
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掃描長(zhǎng)度末尾(X 方向) | 130 mm |
分辨率 | 2 nm |
掃描長(zhǎng)度開始(X 方向) | 0.1 mm |
定位速度(文本) | 0.1 mm/s to 30 mm/s |
輸入 | Standard probe LP-D 14-10-2/60° |
測(cè)量范圍 mm | 10 mm (100 mm probe arm) |
輪廓分辨率 | 2 nm |
掃描長(zhǎng)度(文本) | 0.1 mm to 130 mm |
測(cè)量力 (N) | 1 mN to 30 mN, software-adjustable |