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雙爐體滑動PECVD系統&循環手套箱OTF-1200X-PESDFG-50

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱上海繪吉電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/9/8 9:09:53
  • 訪問次數192
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上海繪吉電子科技有限公司主要代理歐、美、日及科學儀器、工業質檢儀器及相關消耗品,專業涉及高校、新能源、鋼鐵行業、科研研究及輕工化工、在國內特別是華東地區具有廣泛的客戶基礎和良好的商業信譽。經過幾年的發展,繪吉公司已經在同行業中確立了多方面的好的地位,無論在公司規模、人員素質、經營品種、銷售能力和售后服務等各方面獲得了同行及用戶的廣泛認可。 上海繪吉電子科技有限公司從事分析類儀器(熒光光譜儀,質譜儀,粒度儀,真空系列等分析類設備),電池材料制備設備,實驗室儀器,理化分析類儀器,微生物儀器,生理儀器及實驗室耗材。。上海繪吉電子科技有限公司從事分析類儀器(熒光光譜儀,質譜儀,粒度儀等分析類設備),德國普發真空設備,電池材料制備設備,實驗室儀器,理化分析類儀器,微生物儀器,生理儀器及實驗室耗材。上海繪吉-德國普發真空Pfeiffer Vacuum-作為的真空技術解決方案的供應商之一。我們不僅擁有全系列的混合軸承及全磁懸浮渦輪分子泵, 同時還擁有各種旋片泵,干泵,羅茨泵,氦氣質譜檢漏儀,真空規,四級質譜儀等產品以及真空管件和綜合真空系統。 從普發1958年發明渦輪分子泵至今, 我們在分析、研發、鍍膜、太陽能、半導體和其他工業領域,始終代表著創新的解決方案、高品質、穩定可靠的產品和的服務。公司自1890年創立至今百余年,現有將近2300名員工,20多家分公司遍布,并且在德國、法國、羅馬尼亞、韓國設有生產制造基地。隨著中國綜合國力的提升,產業結構升級,以及對節能減排,科研和高精尖制造工藝的強烈需求,對真空技術的需求也在不斷的提升。作為德國 Pfeiffer Vacuum GmbH 的全資子公司,普發真空技術上海有限公司 Pfeiffer Vacuum (Shanghai) Co., Ltd. 于 2007 年正式入駐中國上海,標志著普發真空在中國的業務已經初具規模,以及公司對中國持續增長的信心。公司現坐落于上海市浦東新區世紀公園附近,并且在江蘇無錫建有 4000m2 的售后服務工廠。上海繪吉電子科技有限公司獲得深圳科晶智達科技有限公司一級代理權,科晶為研究新一代可充電電池,超級電容器與快速儲能材料提供最完整的成套解決方案。方案定位于鋰電池的研究市場,主要為大專院校、科研院所以及生產企業提供實驗室用的小型混壓設備和機械加工與測試等一系列產品,提供研發環節所需的電池能源材料制備相關設備產品與成套實驗室方案:“混料-燒料-分析-涂層-成型-封裝-測試”設備:球磨機、高溫高壓爐、材料分析儀、涂層機、軋機、切片機、封裝機、電池分析儀等。上海繪吉電子科技有限公司成功和進口公司合作。德國普發真空設備,德國布魯克儀器有限公司,分析儀器有限公司,美國PE公司,美國熱電儀器有限公司,天美科技有限公司,島津,萊卡儀器,日本horriba,梅特勒等進口公司
激光拉曼光譜,分子熒光光譜,激光粒度儀
雙爐體滑動PECVD系統&循環手套箱OTF-1200X-PESDFG-50
雙爐體滑動PECVD系統&循環手套箱OTF-1200X-PESDFG-50 產品信息

 OTF-1200X-PESDFG-50是一款雙爐體滑動的PECVD系統,并且連接有循環手套箱。此款設備中石英爐管與一循環手套箱相連接,允許客戶用CVD方法把樣品制作好以后,直接把樣品移入到氣氛保護環境下的手套箱中。爐體采用滑動式,可在室驗中對樣品進行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新一代納米材料和二維晶體材料的探索研究。

技術參數
爐體結構(點擊圖片查看詳細資料)

● 兩個爐體在一個滑軌上面,和通過對爐體的滑動達到對樣品快速加熱和快速冷卻的效果

● 連續工作溫度:1100℃

● 兩個爐體都可以設置30段升降溫程序

等離子體射頻電源

● 輸出頻率: 13.56 MHz ±0.005%

● 射頻功率: 500W

● 匹配: 自動匹配

● 噪音: <50 dB.

● 冷卻: 空氣冷卻

● 輸入電源: 208-240VAC, 單相, 50/60Hz

真空系統

● 采用VRD-16的雙旋真空泵, 極限真空10E-3 Torr

● KFD25快接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連

● 管內真空可達10E-2 Torr

質量流量計混氣系統

● 四個精密的質量流量計(精度1.5% ) :數字顯示,自動控制

● MFC1范圍: 0~100 sccm

● MFC2和3: 0~200 sccm

● MFC4范圍: 0~500 sccm

● 一個混氣罐,底部裝有泄廢液口

● 4 個不銹鋼針閥安裝在供氣系統的左側,可手動控制4種氣體

● 進氣口: 4個1/4NPS

● 出氣口: 4個 1/4NPS.

● 采用PLC控制流量計,通過觸摸屏進行控制

● 可選購氣液混合裝置,用于CVD系統

 
  
爐管&密封法蘭

● 高純石英管,尺寸50mm O.D x 44mm I.D x1800 mm L

● 配有一套不銹鋼密封法蘭,并且上面安裝有真空計

 
防腐型真空計

● 輸入電源 24V,1A DC(配有一電壓轉換器)

● 測量范圍 3.8x10-5 -1125 Torr.

● 數據顯示 數字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數據顯示單位為torr

● 接頭 KF16 接頭

● 產品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

循環手套箱

● 手套箱尺寸:780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H)

● 帶有除水系統:保持水含量< 2 ppm

● 一真空法蘭在手套箱的左邊,與PECVD系統的石英管相連接

  
質保期一年質保期,終身維護(不包含爐管,加熱元件和密封圈)
質量認證● CE 認證
● 所有電器元件(>24V)都通過 UL / MET / CSA 認證
    
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