JKNL-B220滑軌式真空管式爐
設備介紹：
JKNL-B220滑軌式真空管式爐是專為化學氣相沉積法制備石墨烯片而設計的，該爐搭配質量混氣系統、高（低）真空系統組成CVD系統，可以通過滑動爐體來實現快速升降溫，配置不同的真空系統來達到所需的真空度，同時通過四路高精度質量混氣系統控制不同氣體。
爐體采用雙層殼體結構，殼體間配有風冷系統，能有效的降低爐殼表面溫度。爐底以直線軌道為平臺，通過軌道實現爐體自由滑動；反應區采用石英管結構，石英管直徑60mm,石英管通過CVD專用法蘭密封，內置基片做為基底，前驅反應氣體通過石英管內發生CVD反應，生成石墨烯。
設備用途：
JKNL-B220滑軌式真空管式爐是生長石墨烯研制的專用爐，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗。
JKNL-B220滑軌式真空管式爐
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基本參數 | 產品型號 | JKNL-B220 | 加熱區尺寸 | 400mm | |||||
極限溫度 | 1200℃ | 工作溫度 | ≤1100℃ | ||||||
表面溫度 | <>60℃ | 控溫精度 | ±1℃ | ||||||
功率 | 3KW | 工作電壓 | 單相220V | ||||||
開門方式 | 上開式 | ||||||||
外形尺寸 | 深 * 寬 * 高 （mm） 600 * 1300 * 1300 | ||||||||
設備重量 | 150Kg | ||||||||
殼體結構 | 雙層，殼體間風扇制冷，可使爐體表面快速降溫。 | ||||||||
節能效果 | ★ 保溫時僅需40%功率 | ||||||||
數據顯示模式 | LED數顯儀表
| ★ 可選配豪華型智能觸摸屏儀表，實時曲線顯示，也可用U盤導出數據，在電腦上安裝查看軟件 |
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控制模式 | 智能PID調節、模糊控制、自整定功能 | ||||||||
溫度曲線 | 30段可編程控制，可設置30段升降溫程序 | ||||||||
測溫元件 | K型熱電偶 | ||||||||
加熱元件 | 優質摻鉬鐵鉻鋁合金加熱絲 環形加熱，溫場均勻，能耗低 升溫速率建議:10℃/Min Max:20℃/Min |
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爐膛保溫材料 | 1500型高純氧化鋁微晶體纖維，保溫性能好 | ||||||||
售后服務 | 12個月質保（相關易耗件除外），終身保修 | ||||||||
包裝方式 | 三合板木質包裝箱 | ||||||||
電 源 線 | 標配2米 若需更長，請購買設備時提前說明，需另購 |
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坩 堝 | 我司有各種規格的坩堝，需要可咨詢業務人員 | ||||||||
爐體尺寸 | 620mm（長）*420mm（寬）*520mm（高） | ||||||||
設備重量 | 180Kg | ||||||||
控制方式擴展 | ★ 可選配485轉換接口，實現與計算機相互連接。選配專用的電腦控制系統來完成與單臺或多達200臺電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能。為客戶提供方便，本公司也可以代購電腦。 |
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真空度 | A.若使用VP系列單級旋片機械泵+CF法蘭+針型閥，則真空度可達100Pa B.若使用2XZ系列雙級旋轉機械泵+KF法蘭+真空球閥，則真空度可達10Pa | ||||||||
隨機配件 | 防護手套1雙；坩堝鉗1把；剛玉舟1只；石英管；爐塞；爐勾；6號內六角（法蘭專用）；法蘭一套；配套氣管；高溫密封圈8個；產品說明書1份；儀表說明書1份；保修證書1份。 | ||||||||
質量流量控制器
工作電壓：220V
輸出功率：18W
質量流量計量程：
控制器1：0-100 SCCM
控制器2：1-199 SCCM
控制器3：1-199 SCCM
控制器4：1-499 SCCM
可任意選擇量程（5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM）
工作溫度：5-45 oC
壓力：3* 10^6 Pa
準確度：±1%FS
機械壓力表測量范圍：-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid)
針型閥：304不銹鋼
混氣罐：Φ80*120MM
截止閥：Φ1/4 304不銹鋼
