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等離子廢氣凈化器適用性強，傳質效率高，運行穩定，是國內外廢氣治理和工業尾氣吸收應用廣泛的設備之一。本文就來詳細為大家介紹有關等離子凈化器這方面的知識。等離子凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。等離子體化學反應過程中，從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲。成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。

等離子體分解法（plasmaa decomposition）用于治理有機廢氣現技術已基本趨于成熟，在國內已經大量用于有機廢氣治理工程中。 低溫等離子體技術去除VOCs，其基本原理是通過高電壓放電形式獲得非熱電平衡等離子體，即產生大量的高能電子或高能電子激勵產生的O·、OH·、N·等活性粒子，破壞C-H、C=C或C—C等化學鍵，使VOCs分子中的H、C1、F等發生置換反應。由于O·、OH·等具有強氧化能力，結果使C、H分解氧化，*終生成CO2和H2O，即VOCs通過放電處理*終變為無害物質。

目前，產生低溫等離子體的放電形式主要的脈沖電暈放電、界面放電及介質阻擋放電等，在時間和空間上，為了能簡單地得到高密度的等離子體，有時將某兩和放電形式疊加（如介質阻擋放電與界面放電的放電疊加）